Մոլեկուլային ճառագայթների էպիտաքսիա և հեղուկ ազոտի շրջանառության համակարգ կիսահաղորդչային և չիպերի արդյունաբերության մեջ

Համառոտ մոլեկուլային ճառագայթների էպիտաքսիա (MBE)

Molecular Beam Epitaxy (MBE) տեխնոլոգիան մշակվել է 1950-ականներին՝ կիսահաղորդչային բարակ թաղանթով նյութեր պատրաստելու համար՝ օգտագործելով վակուումային գոլորշիացման տեխնոլոգիա:Գերբարձր վակուումային տեխնոլոգիայի զարգացմամբ տեխնոլոգիայի կիրառումը տարածվել է կիսահաղորդչային գիտության բնագավառում։

Կիսահաղորդչային նյութերի հետազոտության շարժառիթը նոր սարքերի պահանջարկն է, որը կարող է բարելավել համակարգի աշխատանքը:Իր հերթին, նոր նյութական տեխնոլոգիաները կարող են արտադրել նոր սարքավորումներ և նոր տեխնոլոգիաներ:Molecular beam epitaxy (MBE) բարձր վակուումային տեխնոլոգիա է էպիտաքսիալ շերտի (սովորաբար կիսահաղորդչային) աճի համար:Այն օգտագործում է աղբյուրի ատոմների կամ մոլեկուլների ջերմային ճառագայթները, որոնք ազդում են մեկ բյուրեղյա սուբստրատի վրա:Գործընթացի գերբարձր վակուումային բնութագրերը թույլ են տալիս տեղում մետաղականացնել և մեկուսիչ նյութերի աճեցնել նոր աճեցված կիսահաղորդչային մակերեսների վրա, ինչը հանգեցնում է աղտոտվածությունից զերծ միջերեսներին:

նորություններ bg (4)
նորություններ bg (3)

MBE տեխնոլոգիա

Մոլեկուլային ճառագայթի էպիտաքսիան իրականացվել է բարձր վակուումում կամ գերբարձր վակուումում (1 x 10-8Պա) միջավայր.Մոլեկուլային ճառագայթի էպիտաքսիայի ամենակարևոր կողմը դրա ցածր նստվածքի արագությունն է, որը սովորաբար թույլ է տալիս թաղանթին էպիտաքսիալ աճեցնել ժամում 3000 նմ-ից պակաս արագությամբ:Նման ցածր նստեցման արագությունը պահանջում է բավականաչափ բարձր վակուում մաքրության նույն մակարդակին հասնելու համար, ինչ նստեցման այլ մեթոդներ:

Վերևում նկարագրված գերբարձր վակուումը բավարարելու համար MBE սարքը (Knudsen բջիջը) ունի սառեցնող շերտ, և աճի պալատի ծայրահեղ բարձր վակուումային միջավայրը պետք է պահպանվի հեղուկ ազոտի շրջանառության համակարգի միջոցով:Հեղուկ ազոտը սառեցնում է սարքի ներքին ջերմաստիճանը մինչև 77 Կելվին (−196 °C):Ցածր ջերմաստիճանի միջավայրը կարող է հետագայում նվազեցնել կեղտերի պարունակությունը վակուումում և ապահովել ավելի լավ պայմաններ բարակ թաղանթների նստեցման համար:Հետևաբար, MBE սարքավորման համար պահանջվում է հատուկ հեղուկ ազոտի հովացման շրջանառության համակարգ՝ -196 °C հեղուկ ազոտի շարունակական և կայուն մատակարարում ապահովելու համար:

Հեղուկ ազոտի հովացման շրջանառության համակարգ

Վակուումային հեղուկ ազոտի հովացման շրջանառության համակարգը հիմնականում ներառում է.

● կրիոգեն բաք

● հիմնական և ճյուղային վակուումային բաճկոնով խողովակ / վակուումային բաճկոնով գուլպաներ

● MBE հատուկ փուլային բաժանարար և վակուումային բաճկոնով արտանետվող խողովակ

● տարբեր վակուումային բաճկոնով փականներ

● գազահեղուկ պատնեշ

● վակուումային բաճկոնով ֆիլտր

● դինամիկ վակուումային պոմպային համակարգ

● Նախահովացման և մաքրման տաքացման համակարգ

HL Cryogenic Equipment ընկերությունը նկատել է MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգի պահանջարկը, կազմակերպված տեխնիկական ողնաշարը MBE տեխնոլոգիայի համար հատուկ MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգ և վակուումային մեկուսիչի ամբողջական հավաքածու հաջողությամբ մշակելու համար:edխողովակաշարային համակարգ, որն օգտագործվել է բազմաթիվ ձեռնարկություններում, համալսարաններում և գիտահետազոտական ​​ինստիտուտներում:

նորություններ bg (1)
նորություններ bg (2)

HL կրիոգեն սարքավորում

HL Cryogenic Equipment-ը, որը հիմնադրվել է 1992 թվականին, ապրանքանիշ է, որը պատկանում է Chengdu Holy Cryogenic Equipment ընկերությանը Չինաստանում:HL Cryogenic Equipment-ը պարտավորվում է նախագծել և արտադրել Բարձր վակուումային մեկուսացված կրիոգեն խողովակաշարային համակարգի և հարակից օժանդակ սարքավորումների նախագծում և արտադրություն:

Լրացուցիչ տեղեկությունների համար այցելեք պաշտոնական կայքwww.hlcryo.com, կամ էլinfo@cdholy.com.


Հրապարակման ժամանակը` մայիս-06-2021