Կիսահաղորդչային և չիպային պատյաններ և լուծումներ

/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/

Հեղուկ ազոտի հովացման համակարգերը լայնորեն կիրառվում են կիսահաղորդչային և չիպային արդյունաբերության մեջ, ներառյալ՝

  • Molecular Beam Epitaxy (MBE) տեխնոլոգիա
  • Չիպի փորձարկում COB փաթեթից հետո

Առնչվող ապրանքներ

ՄՈԼԵԿՈՒԼԱՅԻՆ ՃԱՆԱՊԱՐՀԻ ԷՊԻՏԱՔՍԻԱ

Molecular Beam Epitaxy (MBE) տեխնոլոգիան մշակվել է 1950-ականներին՝ կիսահաղորդչային բարակ թաղանթով նյութեր պատրաստելու համար՝ օգտագործելով վակուումային գոլորշիացման տեխնոլոգիա:Գերբարձր վակուումային տեխնոլոգիայի զարգացմամբ տեխնոլոգիայի կիրառումը տարածվել է կիսահաղորդչային գիտության բնագավառում։

HL-ը նկատել է MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգի պահանջարկը, կազմակերպել է տեխնիկական ողնաշարը MBE տեխնոլոգիայի համար հատուկ MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգի հաջողությամբ մշակելու և վակուումային մեկուսացված խողովակաշարերի ամբողջական փաթեթի, որն օգտագործվել է բազմաթիվ ձեռնարկություններում, համալսարաններում և գիտահետազոտական ​​ինստիտուտներում: .

Կիսահաղորդիչների և չիպերի արդյունաբերության ընդհանուր խնդիրները ներառում են.

  • Հեղուկ ազոտի ճնշումը տերմինալային (MBE) սարքավորման մեջ:Կանխել ճնշման գերբեռնվածությունը տերմինալի (MBE) սարքավորումների վնասումից:
  • Բազմաթիվ կրիոգեն հեղուկի մուտքի և ելքի հսկիչներ
  • Հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանը տերմինալային սարքավորման մեջ
  • Կրիոգեն գազի արտանետումների ողջամիտ քանակություն
  • Հիմնական և ճյուղային գծերի (ավտոմատ) միացում
  • Ճնշման ճշգրտում (նվազեցում) և VIP-ի կայունություն
  • Մաքրում տանկից հնարավոր կեղտերից և սառույցի մնացորդներից
  • Տերմինալային հեղուկ սարքավորման լիցքավորման ժամանակը
  • Խողովակաշարերի նախնական սառեցում
  • Հեղուկի դիմադրություն VIP համակարգում
  • Վերահսկել հեղուկ ազոտի կորուստը համակարգի ընդհատված ծառայության ժամանակ

HL-ի վակուումային մեկուսացված խողովակը (VIP) որպես ստանդարտ կառուցված է ASME B31.3 ճնշման խողովակաշարի կոդով:Ինժեներական փորձ և որակի վերահսկման կարողություն՝ ապահովելու հաճախորդի գործարանի արդյունավետությունն ու ծախսարդյունավետությունը:

ԼՈՒԾՈՒՄՆԵՐ

HL Cryogenic Equipment-ը հաճախորդներին տրամադրում է վակուումային մեկուսացված խողովակաշարային համակարգ՝ կիսահաղորդչային և չիպային արդյունաբերության պահանջներին և պայմաններին համապատասխանելու համար.

1.Որակի կառավարման համակարգ. ASME B31.3 Ճնշման խողովակաշարի կոդը:

2. Հատուկ փուլային բաժանարարը բազմակի կրիոգեն հեղուկի մուտքով և ելքով ավտոմատ կառավարման գործառույթով բավարարում է գազի արտանետման, վերամշակված հեղուկ ազոտի և հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանի պահանջները:

3. Համապատասխան և ժամանակին արտանետման դիզայնը ապահովում է, որ տերմինալային սարքավորումները միշտ աշխատում են նախագծված ճնշման արժեքի սահմաններում:

4. Գազահեղուկ պատնեշը տեղադրված է VI խողովակաշարի վերջում գտնվող ուղղահայաց VI խողովակում:Gas-liquid Barrier-ը օգտագործում է գազի կնիքի սկզբունքը՝ VI խողովակաշարի վերջից դեպի VI խողովակաշար փակելու ջերմությունը և արդյունավետորեն նվազեցնելու հեղուկ ազոտի կորուստը համակարգի ընդհատվող և ընդհատվող ծառայության ժամանակ:

5.VI Խողովակաշար, որը վերահսկվում է վակուումային մեկուսացված փականով (VIV) շարքով. ներառյալ վակուումային մեկուսացված (օդաճնշական) անջատիչ փական, վակուումային մեկուսացված ստուգիչ փական, վակուումային մեկուսացված կարգավորիչ փական և այլն: VIV-ի տարբեր տեսակներ կարող են մոդուլային համակցվել VIP-ը կառավարելու համար պահանջվում է.VIV-ը ինտեգրված է VIP հավաքովի արտադրողի հետ՝ առանց տեղում մեկուսացված մշակման:VIV-ի կնիքի միավորը կարող է հեշտությամբ փոխարինվել:(HL-ն ընդունում է հաճախորդների կողմից նշանակված կրիոգենիկ փականների ապրանքանիշը, այնուհետև պատրաստում է HL-ի կողմից վակուումային մեկուսացված փականներ: Փականների որոշ ապրանքանիշեր և մոդելներ հնարավոր չէ վերածել վակուումային մեկուսացված փականների:)

6. Մաքրություն, եթե կան լրացուցիչ պահանջներ ներքին խողովակի մակերեսի մաքրության համար:Առաջարկվում է հաճախորդներին ընտրել BA կամ EP չժանգոտվող պողպատից որպես VIP ներքին խողովակներ՝ չժանգոտվող պողպատի արտահոսքի հետագա նվազեցման համար:

7.Վակուումային մեկուսացված զտիչ. մաքրել տանկի հնարավոր կեղտերը և սառույցի մնացորդները:

8. Մի քանի օր կամ ավելի երկար անջատումից կամ սպասարկումից հետո շատ անհրաժեշտ է նախապես հովացնել VI խողովակաշարը և տերմինալային սարքավորումը նախքան կրիոգեն հեղուկի մուտքը, որպեսզի սառցե խարամը խուսափի այն բանից հետո, երբ կրիոգեն հեղուկը ուղղակիորեն մտնում է VI խողովակաշար և տերմինալ սարքավորում:Դիզայնում պետք է հաշվի առնել նախասառեցման գործառույթը:Այն ապահովում է ավելի լավ պաշտպանություն տերմինալային սարքավորումների և VI Piping օժանդակ սարքավորումների համար, ինչպիսիք են փականները:

9. Կոստյում ինչպես դինամիկ, այնպես էլ ստատիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգի համար:

10. Դինամիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգ. բաղկացած է VI ճկուն գուլպաներից և/կամ VI խողովակներից, ցատկող ճկուն խողովակներից, վակուումային մեկուսացված փականների համակարգից, փուլային բաժանարարներից և դինամիկ վակուումային պոմպերից (ներառյալ վակուումային պոմպերը, էլեկտրամագնիսական փականները և վակուումային չափիչները և այլն: ):Մեկ VI ճկուն գուլպանի երկարությունը կարող է հարմարեցվել ըստ օգտագործողի պահանջների:

11. Միացման տարբեր տեսակներ. Վակուումային բայոնետային միացման (VBC) տեսակը և եռակցված միացումը կարող են ընտրվել:VBC տիպը տեղում մեկուսացված բուժման կարիք չունի: