Նորություններ - Chip MBE նախագիծն ավարտվել է անցյալ տարիներին

Տեխնոլոգիա

Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիան կամ MBE-ն նոր տեխնիկա է բյուրեղային ենթաշերտերի վրա բյուրեղների բարձրորակ բարակ թաղանթներ աճեցնելու համար: Գերբարձր վակուումային պայմաններում, ջեռուցման վառարանը հագեցած է բոլոր տեսակի պահանջվող բաղադրիչներով և առաջացնում է գոլորշի, ատոմային կամ մոլեկուլային ճառագայթների համադրումից հետո ձևավորված անցքերի միջով, ուղղակի ներարկումով մինչև մեկ բյուրեղյա ենթաշերտի համապատասխան ջերմաստիճանը, վերահսկելով մոլեկուլային ճառագայթը: միևնույն ժամանակ սկանավորելով ենթաշերտը, այն կարող է մոլեկուլները կամ ատոմները դարձնել բյուրեղային հավասարեցված շերտերում՝ ձևավորելով բարակ թաղանթ՝ սուբստրատի «աճի» վրա։

MBE սարքավորումների բնականոն աշխատանքի համար պահանջվում է բարձր մաքրություն, ցածր ճնշում և ծայրահեղ մաքուր հեղուկ ազոտ, որը անընդհատ և կայուն տեղափոխվի սարքավորման հովացման խցիկ: Ընդհանուր առմամբ, հեղուկ ազոտ ապահովող բաքը ունի ելքային ճնշում 0,3 ՄՊա-ից մինչև 0,8 ՄՊա: -196℃-ի դեպքում հեղուկ ազոտը հեշտությամբ գոլորշիացվում է ազոտի մեջ խողովակաշարով փոխադրման ժամանակ: Մոտ 1:700 գազ-հեղուկ հարաբերակցությամբ հեղուկ ազոտը գազաֆիկացվելուց հետո գազատարում այն կզբաղեցնի հեղուկ ազոտի հոսքի մեծ տարածք և կնվազեցնի նորմալ հոսքը հեղուկ ազոտի խողովակաշարի վերջում: Բացի այդ, հեղուկ ազոտի պահեստավորման բաքում, ամենայն հավանականությամբ, կան բեկորներ, որոնք չեն մաքրվել: Հեղուկ ազոտի խողովակաշարում թաց օդի առկայությունը կբերի նաև սառցե խարամի առաջացման։ Եթե այդ կեղտերը թափվեն սարքավորման մեջ, դա անկանխատեսելի վնաս կհասցնի սարքավորմանը:

Հետևաբար, բացօթյա պահեստավորման բաքի հեղուկ ազոտը տեղափոխվում է MBE սարքավորում փոշուց զերծ արտադրամասում բարձր արդյունավետությամբ, կայունությամբ և մաքուր, իսկ ցածր ճնշումը, առանց ազոտի, առանց կեղտերի, 24 ժամ անխափան, նման տրանսպորտային կառավարման համակարգը որակյալ արտադրանք:

Համապատասխան MBE սարքավորումներ

2005 թվականից HL Cryogenic Equipment-ը (HL CRYO) օպտիմիզացնում և կատարելագործում է այս համակարգը և համագործակցում MBE սարքավորումներ արտադրող միջազգային արտադրողների հետ: MBE սարքավորումներ արտադրողները, ներառյալ DCA, REBER, համագործակցային հարաբերություններ ունեն մեր ընկերության հետ: MBE սարքավորումներ արտադրողները, ներառյալ DCA-ն և REBER-ը, համագործակցել են մեծ թվով նախագծերում:

Riber SA-ն մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիայի (MBE) արտադրանքի և հարակից ծառայությունների առաջատար համաշխարհային մատակարարն է բարդ կիսահաղորդչային հետազոտությունների և արդյունաբերական կիրառությունների համար: Riber MBE սարքը կարող է նյութի շատ բարակ շերտեր դնել ենթաշերտի վրա՝ շատ բարձր կառավարմամբ: HL Cryogenic Equipment-ի վակուումային սարքավորումը (HL CRYO) հագեցած է Riber SA-ով: Ամենամեծ սարքավորումը Riber 6000-ն է, իսկ ամենափոքրը՝ Compact 21-ը: Այն գտնվում է լավ վիճակում և ճանաչվել է հաճախորդների կողմից:

DCA-ն աշխարհի առաջատար օքսիդի MBE-ն է: 1993թ.-ից իրականացվել է օքսիդացման տեխնիկայի, հակաօքսիդանտային ենթաշերտի տաքացման և հակաօքսիդանտ աղբյուրների համակարգված մշակում: Այս պատճառով շատ առաջատար լաբորատորիաներ ընտրել են DCA օքսիդի տեխնոլոգիան: Կոմպոզիտային կիսահաղորդչային MBE համակարգերն օգտագործվում են ամբողջ աշխարհում: HL Cryogenic Equipment-ի VJ հեղուկ ազոտի շրջանառության համակարգը (HL CRYO) և DCA-ի բազմաթիվ մոդելների MBE սարքավորումներն ունեն համապատասխան փորձ բազմաթիվ նախագծերում, ինչպիսիք են մոդելը P600, R450, SGC800 և այլն: