Նորություններ - Չիպ MBE նախագիծը ավարտվել է վերջին տարիներին

Տեխնոլոգիա

Molecular Beam Epitaxy- ը կամ MBE- ը նոր տեխնիկա է բյուրեղյա բյուրեղների բարձրորակ բարակ ֆիլմեր աճեցնելու համար բյուրեղյա ենթաշերտերի վրա: Ուլտրա-բարձր վակուումային պայմաններում ջեռուցման վառարանը հագեցած է բոլոր տեսակի պահանջվող բաղադրիչներով եւ գոլորշի է առաջացնում, ճառագայթների ատոմային կամ մոլեկուլային ճառագայթից հետո ձեւավորված անցքերի միջոցով Substrate սկան միեւնույն ժամանակ, այն կարող է մոլեկուլները կամ ատոմները դարձնել բյուրեղային հավասարեցման շերտերում `բարակ ֆիլմ ձեւավորելու համար« աճի »ենթաբազմության վրա:

MBE սարքավորումների բնականոն գործունեության համար բարձր մաքրությունը, ցածր ճնշումը եւ ծայրահեղ մաքուր հեղուկ ազոտը պահանջվում է անընդհատ եւ կայուն տեղափոխվել սարքավորումների հովացման պալատ: Ընդհանուր առմամբ, հեղուկ ազոտ ապահովող տանկն ունի ելքային ճնշում 0,3MPA- ի եւ 0,8mpa.liquid ազոտով -196 ℃ - ը հեշտությամբ գոլորշիանում է խողովակաշարի տեղափոխման ժամանակ: Հեղուկ ազոտը մոտ 1: 700 գազի հեղուկ հարաբերակցությամբ գազի վրա գազավորված է խողովակաշարի մեջ, այն կզբաղեցնի մեծ քանակությամբ հեղուկ ազոտի հոսքի տարածություն եւ կնվազեցնի նորմալ հոսքը հեղուկ ազոտի խողովակաշարի վերջում: Բացի այդ, հեղուկ ազոտի պահեստային բաքում, հավանաբար, բեկորներ են, որոնք չեն մաքրվել: Հեղուկ ազոտի խողովակաշարի մեջ թաց օդի առկայությունը կբերի նաեւ սառույցի խարամների սերունդ: Եթե այս կեղտաջրերը դուրս են գրվում սարքավորումների մեջ, ապա դա անկանխատեսելի վնաս է հասցնի սարքավորումներին:

Հետեւաբար, բացօթյա պահեստային բաքի հեղուկ ազոտը տեղափոխվում է փոշու արտադրության մեջ գտնվող MBE սարքավորումներ `բարձր արդյունավետությամբ, կայունությամբ եւ մաքուր, եւ ցածր ճնշմամբ, ոչ մի ազոտային համակարգը որակավորված արտադրանք:

Համապատասխան MBE սարքավորումներ

2005 թվականից ի վեր HL Cryogenic սարքավորումները (HL Cryo) օպտիմիզացում եւ բարելավում են այս համակարգը եւ համագործակցում են MBE սարքավորումների միջազգային արտադրողների հետ: MBE սարքավորումների արտադրողները, ներառյալ DCA- ն, Reber, ունեն համագործակցային հարաբերություններ մեր ընկերության հետ: MBE սարքավորումների արտադրողները, ներառյալ DCA- ն եւ Reber- ը, համագործակցել են մեծ թվով նախագծերում:

Riber SA- ն մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսի (MBE) արտադրանքների եւ հարակից ծառայությունների առաջատար գլոբալ մատակարար է, բարդ կիսահաղորդչային հետազոտությունների եւ արդյունաբերական ծրագրերի համար: Riber Mbe սարքը կարող է ավանդի նյութի շատ բարակ շերտեր տրամադրել ենթաշերտի վրա, շատ բարձր հսկիչներով: HL Cryogenic Equipment- ի վակուումային սարքավորումները (HL Cryo) հագեցած են Riber SA- ով, ամենամեծ սարքավորումները Riber 6000 են, իսկ ամենափոքրը `կոմպակտ է:

DCA- ն աշխարհի առաջատար օքսիդային MBE- ն է: 1993 թվականից իրականացվել է օքսիդացման տեխնիկայի համակարգված զարգացում, հակաօքսիդիչ ենթաշերտ ջեռուցման եւ հակաօքսիդիչ աղբյուրներ: Այդ իսկ պատճառով շատ առաջատար լաբորատորիաներ ընտրել են DCA օքսիդի տեխնոլոգիան: Կոմպոզիցիոն կիսահաղորդչային MBE համակարգերը օգտագործվում են ամբողջ աշխարհում: HL Cryogenic Equipment- ի VJ հեղուկ ազոտի շրջանառվող համակարգը (HL CRIRO) եւ DCA բազմակի մոդելների MBE սարքավորումներ ունեն բազմաթիվ ծրագրերում, ինչպիսիք են P600, R450, SGC800 եւ այլն: