Տեխնոլոգիա
Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիան, կամ MBE-ն, բյուրեղային հիմքերի վրա բարձրորակ բարակ թաղանթներ աճեցնելու նոր տեխնիկա է: Գերբարձր վակուումային պայմաններում, տաքացման վառարանը հագեցած է բոլոր տեսակի անհրաժեշտ բաղադրիչներով և գոլորշի է առաջացնում, որը կոլիմացնող ատոմային կամ մոլեկուլային ճառագայթից հետո առաջացած անցքերով ուղղակիորեն ներարկվում է միաբյուրեղային հիմքի համապատասխան ջերմաստիճանում, վերահսկելով մոլեկուլային ճառագայթի սկանավորումը հիմքի վրա, միաժամանակ այն կարող է ստիպել բյուրեղային հավասարեցման շերտերում գտնվող մոլեկուլներին կամ ատոմներին հիմքի վրա բարակ թաղանթ ձևավորել և «աճել»:
MBE սարքավորումների բնականոն աշխատանքի համար անհրաժեշտ է բարձր մաքրության, ցածր ճնշման և գերմաքուր հեղուկ ազոտի անընդհատ և կայուն տեղափոխում սարքավորումների սառեցման խցիկ: Ընդհանուր առմամբ, հեղուկ ազոտ մատակարարող բաքի ելքային ճնշումը տատանվում է 0.3 ՄՊա-ից մինչև 0.8 ՄՊա: -196℃ ջերմաստիճանում հեղուկ ազոտը հեշտությամբ գոլորշիանում է ազոտի՝ խողովակաշարային փոխադրման ընթացքում: Երբ մոտ 1:700 գազ-հեղուկ հարաբերակցությամբ հեղուկ ազոտը գազաֆիկացվում է խողովակաշարում, այն կզբաղեցնի հեղուկ ազոտի հոսքի մեծ տարածք և կնվազեցնի հեղուկ ազոտի խողովակաշարի վերջում նորմալ հոսքը: Բացի այդ, հեղուկ ազոտի պահեստավորման բաքում, հավանաբար, կլինեն չմաքրված մնացորդներ: Հեղուկ ազոտի խողովակաշարում խոնավ օդի առկայությունը նույնպես կհանգեցնի սառցե խարամի առաջացմանը: Եթե այս խառնուրդները թափվեն սարքավորումների մեջ, դա կհանգեցնի սարքավորումների անկանխատեսելի վնասի:
Հետևաբար, բացօթյա պահեստային բաքում գտնվող հեղուկ ազոտը տեղափոխվում է MBE սարքավորումներ՝ փոշուց զերծ արհեստանոցում՝ բարձր արդյունավետությամբ, կայունությամբ և մաքուր վիճակում, իսկ ցածր ճնշման, առանց ազոտի, առանց խառնուրդների, 24 ժամ անխափան աշխատանքի պայմաններում, նման տեղափոխման կառավարման համակարգը որակյալ արտադրանք է։



Համապատասխան MBE սարքավորումներ
2005 թվականից ի վեր HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ընկերությունը օպտիմալացնում և կատարելագործում է այս համակարգը և համագործակցում է միջազգային MBE սարքավորումների արտադրողների հետ: MBE սարքավորումների արտադրողները, այդ թվում՝ DCA-ն, REBER-ը, համագործակցային հարաբերություններ ունեն մեր ընկերության հետ: MBE սարքավորումների արտադրողները, այդ թվում՝ DCA-ն և REBER-ը, համագործակցել են բազմաթիվ նախագծերի շրջանակներում:
Riber SA-ն մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիայի (MBE) արտադրանքի և բարդ կիսահաղորդչային հետազոտությունների և արդյունաբերական կիրառությունների համար հարակից ծառայությունների առաջատար համաշխարհային մատակարար է: Riber MBE սարքը կարող է հիմքի վրա նստեցնել նյութի շատ բարակ շերտեր՝ շատ բարձր կառավարման միջոցով: HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ընկերության վակուումային սարքավորումները հագեցած են Riber SA-ով: Ամենամեծ սարքավորումները Riber 6000-ն են, իսկ ամենափոքրը՝ Compact 21-ը: Այն լավ վիճակում է և ճանաչվել է հաճախորդների կողմից:
DCA-ն աշխարհի առաջատար օքսիդային MBE-ն է: 1993 թվականից ի վեր իրականացվել է օքսիդացման տեխնիկայի, հակաօքսիդանտային հիմքի տաքացման և հակաօքսիդանտային աղբյուրների համակարգված մշակում: Այդ պատճառով շատ առաջատար լաբորատորիաներ ընտրել են DCA օքսիդային տեխնոլոգիան: Կոմպոզիտային կիսահաղորդչային MBE համակարգերն օգտագործվում են ամբողջ աշխարհում: HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ընկերության VJ հեղուկ ազոտի շրջանառության համակարգը և DCA-ի բազմաթիվ մոդելների MBE սարքավորումները ունեն համապատասխան փորձ բազմաթիվ նախագծերում, ինչպիսիք են P600, R450, SGC800 մոդելները և այլն:

Արդյունավետության աղյուսակ
Շանհայի տեխնիկական ֆիզիկայի ինստիտուտ, Չինաստանի գիտությունների ակադեմիա |
Չինաստանի էլեկտրոնիկայի տեխնոլոգիաների կորպորացիայի 11-րդ ինստիտուտ |
Կիսահաղորդիչների ինստիտուտ, Չինաստանի գիտությունների ակադեմիա |
Huawei |
Ալիբաբա ԴԱՄՕ ակադեմիա |
Փաուերթեք Թեքնոլոջի Ինկ. |
Դելտա Էլեկտրոնիկա Ինկ. |
Սուչժոու Էվերբրայթ Ֆոտոնիքս |
Հրապարակման ժամանակը. Մայիսի 26-2021