Չիպի MBE նախագիծը ավարտվել է վերջին տարիներին

Տեխնոլոգիա

Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիան, կամ MBE-ն, բյուրեղային հիմքերի վրա բարձրորակ բարակ թաղանթներ աճեցնելու նոր տեխնիկա է: Գերբարձր վակուումային պայմաններում, տաքացման վառարանը հագեցած է բոլոր տեսակի անհրաժեշտ բաղադրիչներով և գոլորշի է առաջացնում, որը կոլիմացնող ատոմային կամ մոլեկուլային ճառագայթից հետո առաջացած անցքերով ուղղակիորեն ներարկվում է միաբյուրեղային հիմքի համապատասխան ջերմաստիճանում, վերահսկելով մոլեկուլային ճառագայթի սկանավորումը հիմքի վրա, միաժամանակ այն կարող է ստիպել բյուրեղային հավասարեցման շերտերում գտնվող մոլեկուլներին կամ ատոմներին հիմքի վրա բարակ թաղանթ ձևավորել և «աճել»:

MBE սարքավորումների բնականոն աշխատանքի համար անհրաժեշտ է բարձր մաքրության, ցածր ճնշման և գերմաքուր հեղուկ ազոտի անընդհատ և կայուն տեղափոխում սարքավորումների սառեցման խցիկ: Ընդհանուր առմամբ, հեղուկ ազոտ մատակարարող բաքի ելքային ճնշումը տատանվում է 0.3 ՄՊա-ից մինչև 0.8 ՄՊա: -196℃ ջերմաստիճանում հեղուկ ազոտը հեշտությամբ գոլորշիանում է ազոտի՝ խողովակաշարային փոխադրման ընթացքում: Երբ մոտ 1:700 գազ-հեղուկ հարաբերակցությամբ հեղուկ ազոտը գազաֆիկացվում է խողովակաշարում, այն կզբաղեցնի հեղուկ ազոտի հոսքի մեծ տարածք և կնվազեցնի հեղուկ ազոտի խողովակաշարի վերջում նորմալ հոսքը: Բացի այդ, հեղուկ ազոտի պահեստավորման բաքում, հավանաբար, կլինեն չմաքրված մնացորդներ: Հեղուկ ազոտի խողովակաշարում խոնավ օդի առկայությունը նույնպես կհանգեցնի սառցե խարամի առաջացմանը: Եթե այս խառնուրդները թափվեն սարքավորումների մեջ, դա կհանգեցնի սարքավորումների անկանխատեսելի վնասի:

Հետևաբար, բացօթյա պահեստային բաքում գտնվող հեղուկ ազոտը տեղափոխվում է MBE սարքավորումներ՝ փոշուց զերծ արհեստանոցում՝ բարձր արդյունավետությամբ, կայունությամբ և մաքուր վիճակում, իսկ ցածր ճնշման, առանց ազոտի, առանց խառնուրդների, 24 ժամ անխափան աշխատանքի պայմաններում, նման տեղափոխման կառավարման համակարգը որակյալ արտադրանք է։

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Համապատասխան MBE սարքավորումներ

2005 թվականից ի վեր HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ընկերությունը օպտիմալացնում և կատարելագործում է այս համակարգը և համագործակցում է միջազգային MBE սարքավորումների արտադրողների հետ: MBE սարքավորումների արտադրողները, այդ թվում՝ DCA-ն, REBER-ը, համագործակցային հարաբերություններ ունեն մեր ընկերության հետ: MBE սարքավորումների արտադրողները, այդ թվում՝ DCA-ն և REBER-ը, համագործակցել են բազմաթիվ նախագծերի շրջանակներում:

Riber SA-ն մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիայի (MBE) արտադրանքի և բարդ կիսահաղորդչային հետազոտությունների և արդյունաբերական կիրառությունների համար հարակից ծառայությունների առաջատար համաշխարհային մատակարար է: Riber MBE սարքը կարող է հիմքի վրա նստեցնել նյութի շատ բարակ շերտեր՝ շատ բարձր կառավարման միջոցով: HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ընկերության վակուումային սարքավորումները հագեցած են Riber SA-ով: Ամենամեծ սարքավորումները Riber 6000-ն են, իսկ ամենափոքրը՝ Compact 21-ը: Այն լավ վիճակում է և ճանաչվել է հաճախորդների կողմից:

DCA-ն աշխարհի առաջատար օքսիդային MBE-ն է: 1993 թվականից ի վեր իրականացվել է օքսիդացման տեխնիկայի, հակաօքսիդանտային հիմքի տաքացման և հակաօքսիդանտային աղբյուրների համակարգված մշակում: Այդ պատճառով շատ առաջատար լաբորատորիաներ ընտրել են DCA օքսիդային տեխնոլոգիան: Կոմպոզիտային կիսահաղորդչային MBE համակարգերն օգտագործվում են ամբողջ աշխարհում: HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ընկերության VJ հեղուկ ազոտի շրջանառության համակարգը և DCA-ի բազմաթիվ մոդելների MBE սարքավորումները ունեն համապատասխան փորձ բազմաթիվ նախագծերում, ինչպիսիք են P600, R450, SGC800 մոդելները և այլն:

tcm (2)

Արդյունավետության աղյուսակ

Շանհայի տեխնիկական ֆիզիկայի ինստիտուտ, Չինաստանի գիտությունների ակադեմիա
Չինաստանի էլեկտրոնիկայի տեխնոլոգիաների կորպորացիայի 11-րդ ինստիտուտ
Կիսահաղորդիչների ինստիտուտ, Չինաստանի գիտությունների ակադեմիա
Huawei
Ալիբաբա ԴԱՄՕ ակադեմիա
Փաուերթեք Թեքնոլոջի Ինկ.
Դելտա Էլեկտրոնիկա Ինկ.
Սուչժոու Էվերբրայթ Ֆոտոնիքս

Հրապարակման ժամանակը. Մայիսի 26-2021

Թողեք ձեր հաղորդագրությունը