



Հեղուկ ազոտի սառեցման համակարգերը լայնորեն կիրառվում են կիսահաղորդիչների և չիպերի արդյունաբերության մեջ, ներառյալ՝
- Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիայի (MBE) տեխնոլոգիա
- Չիպի փորձարկումը COB փաթեթից հետո
Առնչվող ապրանքներ
Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտակսիա
Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիայի (ՄՓԷ) տեխնոլոգիան մշակվել է 1950-ական թվականներին՝ վակուումային գոլորշիացման տեխնոլոգիայի միջոցով կիսահաղորդչային բարակ թաղանթային նյութեր պատրաստելու համար: Գերբարձր վակուումային տեխնոլոգիայի զարգացման հետ մեկտեղ, տեխնոլոգիայի կիրառումը տարածվել է կիսահաղորդչային գիտության ոլորտում:
HL-ը նկատել է MBE հեղուկ ազոտի սառեցման համակարգի պահանջարկը, կազմակերպել է տեխնիկական հիմք՝ MBE տեխնոլոգիայի համար հատուկ MBE հեղուկ ազոտի սառեցման համակարգ և վակուումային մեկուսացված խողովակաշարային համակարգի ամբողջական հավաքածու մշակելու համար, որն օգտագործվել է բազմաթիվ ձեռնարկություններում, համալսարաններում և հետազոտական ինստիտուտներում:
Կիսահաղորդիչների և չիպերի արդյունաբերության ընդհանուր խնդիրներն են՝
- Հեղուկ ազոտի ճնշումը տերմինալային (MBE) սարքավորումների մեջ։ Կանխել ճնշման գերբեռնվածությունը տերմինալային (MBE) սարքավորումների վնասումից։
- Բազմակի կրիոգեն հեղուկի մուտքի և ելքի կառավարման համակարգեր
- Հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանը տերմինալային սարքավորումների մեջ
- Կրիոգեն գազի արտանետումների ողջամիտ քանակություն
- Գլխավոր և ճյուղավորված գծերի (ավտոմատ) փոխարկում
- VIP ճնշման կարգավորում (նվազեցում) և կայունություն
- Հնարավոր խառնուրդների և սառույցի մնացորդների մաքրում բաքից
- Տերմինալի հեղուկային սարքավորումների լցման ժամանակը
- Խողովակաշարի նախնական սառեցում
- Հեղուկի դիմադրություն VIP համակարգում
- Համակարգի անխափան սպասարկման ընթացքում հեղուկ ազոտի կորստի վերահսկում
HL-ի վակուումային մեկուսացված խողովակը (VIP) կառուցված է ASME B31.3 ճնշման խողովակաշարերի կոդի համաձայն՝ որպես ստանդարտ: Ճարտարագիտական փորձը և որակի վերահսկման կարողությունը ապահովում են հաճախորդի կայանի արդյունավետությունն ու ծախսարդյունավետությունը:
ԼՈՒԾՈՒՄՆԵՐ
HL Cryogenic Equipment-ը հաճախորդներին տրամադրում է վակուումային մեկուսացված խողովակաշարային համակարգ՝ կիսահաղորդչային և չիպերի արդյունաբերության պահանջներին և պայմաններին համապատասխանելու համար.
1. Որակի կառավարման համակարգ. ASME B31.3 ճնշման խողովակաշարերի կոդ։
2. Հատուկ փուլային բաժանիչը՝ բազմակի կրիոգեն հեղուկի մուտքով և ելքով, ավտոմատ կառավարման գործառույթով, բավարարում է գազի արտանետման, վերամշակված հեղուկ ազոտի և հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանի պահանջները:
3. Համապատասխան և ժամանակին արտանետվող գազերի դիզայնը ապահովում է, որ տերմինալային սարքավորումները միշտ աշխատեն նախագծված ճնշման արժեքի սահմաններում:
4. Գազ-հեղուկային պատնեշը տեղադրվում է ուղղահայաց VI խողովակում՝ VI խողովակաշարի վերջում: Գազ-հեղուկային պատնեշը օգտագործում է գազի կնքման սկզբունքը՝ VI խողովակաշարի ծայրից ջերմությունը VI խողովակաշարի մեջ արգելափակելու և համակարգի անընդհատ և ընդհատվող սպասարկման ընթացքում հեղուկ ազոտի կորուստը արդյունավետորեն նվազեցնելու համար:
5. VI Խողովակաշարերի կառավարում վակուումային մեկուսացված փականների (VIV) շարքով. ներառյալ վակուումային մեկուսացված (օդաճնշական) անջատիչ փական, վակուումային մեկուսացված հակադարձ փական, վակուումային մեկուսացված կարգավորիչ փական և այլն: VIV-ի տարբեր տեսակներ կարող են մոդուլային համակցվել՝ VIP-ը անհրաժեշտության դեպքում կառավարելու համար: VIV-ը ինտեգրված է VIP նախապատրաստական աշխատանքների հետ արտադրողի կողմից՝ առանց տեղում մեկուսացված մշակման: VIV-ի կնքման միավորը կարող է հեշտությամբ փոխարինվել: (HL-ն ընդունում է հաճախորդների կողմից նշված կրիոգեն փականի ապրանքանիշը, ապա HL-ի կողմից արտադրում է վակուումային մեկուսացված փականներ: Փականների որոշ ապրանքանիշեր և մոդելներ կարող են չկարողանալ վերածվել վակուումային մեկուսացված փականների):
6. Մաքրություն, եթե ներքին խողովակի մակերեսի մաքրության համար կան լրացուցիչ պահանջներ: Առաջարկվում է, որ հաճախորդները ընտրեն BA կամ EP չժանգոտվող պողպատե խողովակներ որպես VIP ներքին խողովակներ՝ չժանգոտվող պողպատի թափվելը հետագայում նվազեցնելու համար:
7. Վակուումային մեկուսացված ֆիլտր. մաքրեք բաքը հնարավոր խառնուրդներից և սառույցի մնացորդներից:
8. Մի քանի կամ ավելի օրվա անջատումից կամ սպասարկումից հետո, խիստ անհրաժեշտ է նախապես սառեցնել VI խողովակաշարը և տերմինալային սարքավորումները, նախքան կրիոգեն հեղուկը մտնելը, որպեսզի խուսափենք սառցե խարամից, երբ կրիոգեն հեղուկը անմիջապես մտնի VI խողովակաշար և տերմինալային սարքավորումներ: Նախապես սառեցման գործառույթը պետք է հաշվի առնվի նախագծման մեջ: Այն ապահովում է տերմինալային սարքավորումների և VI խողովակաշարի օժանդակ սարքավորումների, ինչպիսիք են փականները, ավելի լավ պաշտպանություն:
9. Հարմար է ինչպես դինամիկ, այնպես էլ ստատիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգի համար:
10. Դինամիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգ. Բաղկացած է VI ճկուն խողովակներից և/կամ VI խողովակից, ցատկող խողովակներից, վակուումային մեկուսացված փականային համակարգից, փուլերի բաժանիչներից և դինամիկ վակուումային պոմպային համակարգից (ներառյալ վակուումային պոմպերը, սոլենոիդային փականները և վակուումային չափիչները և այլն): Մեկ VI ճկուն խողովակի երկարությունը կարող է հարմարեցվել օգտագործողի պահանջներին համապատասխան:
11. Տարբեր միացման տեսակներ. Կարելի է ընտրել վակուումային բայոնետային միացման (VBC) տեսակը և եռակցված միացումը: VBC տեսակը տեղում մեկուսացված մշակման կարիք չունի: