



Հեղուկ ազոտի հովացման համակարգերը լայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդչային եւ չիպի արդյունաբերության մեջ, ներառյալ գործընթացը,
- Մոլեկուլային ճառագայթների Epitaxy- ի տեխնոլոգիա (MBE)
- COP փաթեթից հետո չիպի թեստը
Առնչվող ապրանքներ
Մոլեկուլային ճառագայթների էպիտաքսի
Մոլեկուլային ճառագայթների Epitaxy- ի (MBE) տեխնոլոգիան մշակվել է 1950-ական թվականներին `կիսահաղորդչային բարակ կինոնկարներ պատրաստելու համար` օգտագործելով վակուումային գոլորշիացման տեխնոլոգիա: Ուլտրա-բարձր վակուումային տեխնոլոգիայի մշակմամբ տեխնոլոգիայի կիրառումը տարածվել է կիսահաղորդչային գիտության ոլորտ:
HL- ն նկատել է MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգի պահանջարկը, կազմակերպել է տեխնիկական ողնաշար `MBE- ի տեխնոլոգիայի համար հատուկ MBE հեղուկ ազոտների համակարգի հատուկ մշակման եւ վակուումային մեկուսացված խողովակաշարային համակարգի ամբողջական հավաքածու, որն օգտագործվել է բազմաթիվ ձեռնարկություններում, համալսարաններում եւ հետազոտական ինստիտուտներում: Մի շարք
Կիսահաղորդչային եւ չիպերի արդյունաբերության ընդհանուր խնդիրները ներառում են,
- Հեղուկ ազոտի ճնշումը տերմինալային (MBE) սարքավորումների մեջ: Կանխել ճնշման ծանրաբեռնվածությունը վնասակար տերմինալային (MBE) սարքավորումներից:
- Բազմաթիվ Cryogenic հեղուկ մուտք եւ ելքային հսկողություն
- Հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանը տերմինալային սարքավորումների մեջ
- Cryogenic գազի արտանետումների ողջամիտ քանակություն
- (Ավտոմատ) հիմնական եւ մասնաճյուղային գծերի միացում
- Press նշման ճշգրտում (իջեցում) եւ VIP- ի կայունությունը
- Մաքրելով հնարավոր կեղտաջրերը եւ սառցե մնացորդը տանկից
- Տերմինալի հեղուկ սարքավորումների լրացման ժամանակը
- Խողովակաշարեր
- Հեղուկ դիմադրություն VIP համակարգում
- Համակարգի անխափան ծառայության ընթացքում հեղուկ ազոտի կորուստը
HL- ի վակուումային մեկուսացված խողովակը (VIP) կառուցված է ASME B31.3 ճնշման խողովակաշարերի կոդով `որպես ստանդարտ: Ինժեներական փորձ եւ որակի հսկման ունակություն `հաճախորդի գործարանի արդյունավետությունն ու ծախսարդյունավետությունը ապահովելու համար:
Լուծումներ
HL Cryogenic սարքավորումները հաճախորդներին հնարավորություն են տալիս վակուումային մեկուսացված խողովակաշարային համակարգ `կիսահաղորդչային եւ չիպի արդյունաբերության պահանջներն ու պայմանները բավարարելու համար.
1. Գույնի կառավարման համակարգ. ASME B31.3 ճնշման խողովակների կոդ:
2. Հատուկ փուլային տարանջատիչ `բազմաթիվ կրոնոգեն հեղուկով եւ ավտոմատ կառավարման գործառույթով ավտոմատ կառավարման գործառույթով` բավարարում է գազի արտանետման, հեղուկ ազոտի վերամշակված հեղուկ ազոտի եւ ջերմաստիճանի պահանջը:
3. Անադեն եւ ժամանակին արտանետվող դիզայնը ապահովում է, որ տերմինալային սարքավորումները միշտ աշխատում են նախագծված ճնշման արժեքի շրջանակներում:
4. Գազի հեղուկի արգելքը տեղադրվում է VI խողովակաշարի վերջում ուղղահայաց VI խողովակում: Գազի հեղուկի պատնեշը օգտագործում է գազի կնիքային սկզբունքը `VI խողովակաշարի ավարտից բխելու ջերմությունը VI խողովակաշարից եւ արդյունավետորեն նվազեցնում է համակարգի անխափան եւ ընդհատվող ծառայության ընթացքում հեղուկ ազոտի կորուստը:
5.Վի խողովակաշարեր, որոնք վերահսկվում են վակուումային մեկուսացված փականի (VIV) շարքի միջոցով. Ներառյալ վակուումային մեկուսացված (օդաճնշական) անջատիչ փական, վակուումային մեկուսացված ստուգման փական, վակուումային մեկուսացված կարգավորող փական եւ այլն, VIP- ի տարբեր տեսակներ պահանջվում է: VID- ը ինտեգրվում է արտադրողի VIP հավաքովիացման հետ, առանց տեղում մեկուսացված բուժման: VIV- ի կնիքային միավորը կարող է հեշտությամբ փոխարինվել: (HL- ն ընդունում է հաճախորդների կողմից նշանակված Cryogenic Valve ապրանքանիշը, այնուհետեւ անում է վակուումային մեկուսացված փականներ HL- ի միջոցով: Փականների որոշ ապրանքանիշեր եւ մոդելներ կարող են չկարողանալով վակուումային մեկուսացված փականների մեջ :)
6. Ակնհայտություն, եթե ներքին խողովակների մակերեսի մաքրության համար կան լրացուցիչ պահանջներ: Առաջարկվում է, որ հաճախորդները ընտրեն BA կամ EP չժանգոտվող պողպատե խողովակներ, քանի որ VIP ներքին խողովակները հետագայում նվազեցնելու համար չժանգոտվող պողպատից թափելը:
7.Vacuum մեկուսացված ֆիլտր. Մաքրեք հնարավոր կեղտաջրերը եւ սառցե մնացորդը տանկից:
8. Մի քանի օր կամ ավելի երկար անջատում կամ սպասարկում, շատ անհրաժեշտ է կանխել VI խողովակաշարերը եւ տերմինալ սարքավորումները նախքան կրիոգեն հեղուկը մուտքագրելը, որպեսզի կրիոգեն հեղուկը ուղղակիորեն մտնի VI խողովակաշարեր եւ տերմինալ սարքավորումներ: Նախընտրելի գործառույթը պետք է դիտարկել դիզայնի մեջ: Այն ապահովում է ավելի լավ պաշտպանություն տերմինալային սարքավորումների եւ VI խողովակաշարերի օժանդակ սարքավորումների համար, ինչպիսիք են փականները:
9. Հատուկ, ինչպես դինամիկ, այնպես էլ ստատիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգի համար:
10.Dynamic վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգ. Բաղկացած է VI ճկուն գուլպաներից եւ (կամ) խողովակաշարից, ջրամպերով գուլպաներից, վակուումային մեկուսացված փականի համակարգից, փուլային տարանջատիչների եւ վակուումային պոմպերի եւ վակուումային ջրաչափերի եւ վակուոզների եւ վակուումային ջրաչափերի եւ այլն: ) Single VI ճկուն գուլպաների երկարությունը կարող է հարմարեցվել ըստ օգտագործողի պահանջների:
11. Կապի տեսակներ. Վակուումային բայոնետ միացման (VBC) տեսակը եւ եռակցված կապը կարող է ընտրվել: VBC- ի տեսակը պետք չէ տեղում մեկուսացված բուժում: