Հեղուկ ազոտի հովացման համակարգերը լայնորեն կիրառվում են կիսահաղորդչային և չիպային արդյունաբերության մեջ, ներառյալ՝
- Molecular Beam Epitaxy (MBE) տեխնոլոգիա
- Չիպի փորձարկում COB փաթեթից հետո
Առնչվող ապրանքներ
ՄՈԼԵԿՈՒԼԱՅԻՆ ՃԱՆԱՊԱՐՀԻ ԷՊԻՏԱՔՍԻԱ
Molecular Beam Epitaxy (MBE) տեխնոլոգիան մշակվել է 1950-ականներին՝ կիսահաղորդչային բարակ թաղանթով նյութեր պատրաստելու համար՝ օգտագործելով վակուումային գոլորշիացման տեխնոլոգիա: Գերբարձր վակուումային տեխնոլոգիայի զարգացմամբ տեխնոլոգիայի կիրառումը տարածվել է կիսահաղորդչային գիտության բնագավառում։
HL-ը նկատել է MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգի պահանջարկը, կազմակերպել է տեխնիկական հիմք՝ MBE տեխնոլոգիայի համար հատուկ MBE հեղուկ ազոտի հովացման համակարգ և վակուումային մեկուսացված խողովակաշարերի ամբողջական հավաքածու հաջողությամբ մշակելու համար, որն օգտագործվել է բազմաթիվ ձեռնարկություններում, համալսարաններում և գիտահետազոտական ինստիտուտներում: .
Կիսահաղորդիչների և չիպերի արդյունաբերության ընդհանուր խնդիրները ներառում են.
- Հեղուկ ազոտի ճնշումը տերմինալային (MBE) սարքավորման մեջ: Կանխել ճնշման գերբեռնվածությունը տերմինալի (MBE) սարքավորումների վնասումից:
- Բազմաթիվ կրիոգեն հեղուկի մուտքի և ելքի հսկիչներ
- Հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանը տերմինալային սարքավորման մեջ
- Կրիոգեն գազի արտանետումների ողջամիտ քանակություն
- (Ավտոմատ) Հիմնական և ճյուղային գծերի միացում
- Ճնշման ճշգրտում (նվազեցում) և VIP-ի կայունություն
- Մաքրում է տանկի հնարավոր կեղտերը և սառույցի մնացորդները
- Տերմինալային հեղուկ սարքավորման լիցքավորման ժամանակը
- Խողովակաշարերի նախնական սառեցում
- Հեղուկի դիմադրություն VIP համակարգում
- Վերահսկել հեղուկ ազոտի կորուստը համակարգի ընդհատված ծառայության ժամանակ
HL-ի վակուումային մեկուսացված խողովակը (VIP) որպես ստանդարտ կառուցված է ASME B31.3 ճնշման խողովակաշարի կոդով: Ինժեներական փորձ և որակի վերահսկման կարողություն՝ ապահովելու հաճախորդի գործարանի արդյունավետությունն ու ծախսարդյունավետությունը:
ԼՈՒԾՈՒՄՆԵՐ
HL Cryogenic Equipment-ը հաճախորդներին տրամադրում է վակուումային մեկուսացված խողովակաշարային համակարգ՝ կիսահաղորդչային և չիպային արդյունաբերության պահանջներին և պայմաններին համապատասխանելու համար.
1.Որակի կառավարման համակարգ. ASME B31.3 Ճնշման խողովակաշարի կոդը:
2. Հատուկ փուլային բաժանարարը բազմակի կրիոգեն հեղուկ մուտքով և ելքով ավտոմատ կառավարման գործառույթով բավարարում է գազի արտանետման, վերամշակված հեղուկ ազոտի և հեղուկ ազոտի ջերմաստիճանի պահանջները:
3. Համապատասխան և ժամանակին արտանետման դիզայնը ապահովում է, որ տերմինալային սարքավորումները միշտ աշխատում են նախագծված ճնշման արժեքի սահմաններում:
4. Գազ-հեղուկ պատնեշը տեղադրվում է VI խողովակաշարի վերջում գտնվող ուղղահայաց VI խողովակում: Gas-liquid Barrier-ը օգտագործում է գազի կնիքի սկզբունքը՝ VI խողովակաշարի վերջից դեպի VI խողովակաշար փակելու ջերմությունը և արդյունավետորեն նվազեցնելու հեղուկ ազոտի կորուստը համակարգի ընդհատվող և ընդհատվող ծառայության ժամանակ:
5.VI Խողովակաշար, որը վերահսկվում է վակուումային մեկուսացված փականով (VIV) շարքով. ներառյալ վակուումային մեկուսացված (օդաճնշական) անջատիչ փական, վակուումային մեկուսացված ստուգիչ փական, վակուումային մեկուսացված կարգավորիչ փական և այլն։ պահանջվում է. VIV-ը ինտեգրված է VIP հավաքովի արտադրողի հետ՝ առանց տեղում մեկուսացված մշակման: VIV-ի կնիքի միավորը կարող է հեշտությամբ փոխարինվել: (HL-ն ընդունում է հաճախորդների կողմից նշանակված կրիոգեն փականների ապրանքանիշը, այնուհետև պատրաստում է HL-ի կողմից վակուումային մեկուսացված փականներ: Փականների որոշ ապրանքանիշեր և մոդելներ հնարավոր չէ վերածել վակուումային մեկուսացված փականների:)
6. Մաքրություն, եթե կան լրացուցիչ պահանջներ ներքին խողովակի մակերեսի մաքրության համար: Առաջարկվում է հաճախորդներին ընտրել BA կամ EP չժանգոտվող պողպատից որպես VIP ներքին խողովակներ՝ չժանգոտվող պողպատի արտահոսքի հետագա նվազեցման համար:
7.Վակուումային մեկուսացված զտիչ. մաքրել տանկի հնարավոր կեղտերը և սառույցի մնացորդները:
8. Մի քանի օր կամ ավելի երկար անջատումից կամ սպասարկումից հետո, շատ անհրաժեշտ է նախապես հովացնել VI խողովակաշարը և տերմինալային սարքավորումը նախքան կրիոգեն հեղուկի մուտքը, որպեսզի սառցե խարամը խուսափի այն բանից հետո, երբ կրիոգեն հեղուկը ուղղակիորեն մտնում է VI խողովակաշար և տերմինալ սարքավորում: Դիզայնում պետք է հաշվի առնել նախասառեցման գործառույթը: Այն ապահովում է ավելի լավ պաշտպանություն տերմինալային սարքավորումների և VI Piping օժանդակ սարքավորումների համար, ինչպիսիք են փականները:
9. Կոստյում ինչպես դինամիկ, այնպես էլ ստատիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգի համար:
10. Դինամիկ վակուումային մեկուսացված (ճկուն) խողովակաշարային համակարգ. բաղկացած է VI ճկուն գուլպաներից և/կամ VI խողովակներից, ցատկող ճկուն խողովակներից, վակուումային մեկուսացված փականների համակարգից, փուլային բաժանարարներից և դինամիկ վակուումային պոմպերից (ներառյալ վակուումային պոմպերը, էլեկտրամագնիսական փականները և վակուումային չափիչները և այլն: ). Մեկ VI ճկուն գուլպանի երկարությունը կարող է հարմարեցվել ըստ օգտագործողի պահանջների:
11. Միացման տարբեր տեսակներ. Վակուումային բայոնետային միացման (VBC) տեսակը և եռակցված միացումը կարող են ընտրվել: VBC տիպը տեղում մեկուսացված բուժման կարիք չունի: